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多晶硅退火炉 氮化镓退火炉 实验室定制加热设备 4寸晶圆退火炉厂家

产品标签  | 科研型退火炉 氮化镓退火炉 高精度退火炉 高温退火炉 退火炉

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    山东 青岛 即墨区 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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产品特性：退火加工定制：是品牌：晨立
型号：CL用途：热处理、退火、热氧化等功率输出：定制w
质量指标：定制加热功率：定制w容量：25片/炉
信号发生器：定制能量转换器：定制槽内尺寸：定制mm
净重：定制kg规格：2-4英寸工艺气体：N2，NH3，O2
温度：25℃-1200℃

1 、工艺： 热处理、退火、热氧化等

2 、温度范围： 25℃-1200℃

3 、工艺气体： NH3,N2，O2 

4、 控温精度： ±1℃

5 、温度均匀性： ±1℃ 

6、 样品尺寸： 2 英寸和 4 英寸

7、 装片量： 1-25 片/炉

8 、真空干泵极限 ：＜5Pa 




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