| 产品特性：氧化扩散 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：CL4513 | 用途：氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量：1-4管 |
| 工艺管口径：Φ90～360 mm | 气源路数：≤7路 | 单点稳定性：±1.0℃/24h |
用途：
新型的宽禁带半导体材料,氧化镓（Ga2O3）由于自身的优异性能,凭借其比第三代半导体材料SiC和GaN更宽的禁带，在紫外探测、高频功率器件等领域吸引了越来越多的关注和研究。氧化镓是一种宽禁带半导体，禁带宽度Eg=4.9eV，其导电性能和发光特性良好，因此，其在光电子器件方面有广阔的应用前景，被用作于Ga基半导体材料的绝缘层，以及紫外线滤光片。
青岛晨立生产的氧化镓退火炉主要适用于科研单位、高等院校、研究机构及企业。主要用于2-6英寸氧化镓的退火等工艺使用。
