| 产品特性：氧化退火 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：CL | 用途：合金、氧化、退火、烧结、扩散 | 操作方式：左(右)手操作方式 |
| 硅片尺寸：圆形6寸片 | 送取片方式：手动进出舟 | 控制方式：由工控机统一管理工艺 |
用途：
新型的宽禁带半导体材料,氧化镓（Ga2O3）由于自身的优异性能,凭借其比第三代半导体材料SiC和GaN更宽的禁带，在紫外探测、高频功率器件等领域吸引了越来越多的关注和研究。氧化镓是一种宽禁带半导体，禁带宽度Eg=4.9eV，其导电性能和发光特性良好，因此，其在光电子器件方面有广阔的应用前景，被用作于Ga基半导体材料的绝缘层，以及紫外线滤光片。
青岛晨立生产的氧化镓退火炉主要适用于科研单位、高等院校、研究机构及企业。主要用于2-6英寸氧化镓的退火等工艺使用。
