产品特性:氧化扩散 | 加工定制:是 | 品牌:晨立 |
型号:CL4513 | 用途:氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量:1-4管 |
工艺管口径:Φ90~360 mm | 气源路数:≤7路 | 单点稳定性:±1.0℃/24h |
恒温区长度:760~1000 mm±1.0℃ |
扩散炉
主要技术指标:
炉管数:1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg
气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制: 浮子/质量流量计
超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm
扩散炉主要用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
我公司可根据客户要求定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、CVD炉、加热电炉及加热装置等,欢迎广大客户来电咨询