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真空热处理炉--晨立专业定制--实验室专用--退火炉定制
产品标签 | 真空热处理炉 真空退火炉 晶圆退火炉 高温氧化炉 两管氧化炉
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¥25万
1 - 2
¥23.88万 价格为商家提供的参考价,请通过"获取最低报价"获得您最满意的心理价位~
≥3
真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。
尺寸:4-8英寸晶圆
晶圆舟:标准25片
控温精度:±3℃
升温速率:10℃/min
洁净等级:百级洁净
真空度:5*10-4 Pa
使用温度:200-550度
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