| 产品特性：氧化退火 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：CL | 用途：扩散、氧化、退火、合金及烧结 | 规格：卧式热壁型或立式 |
| 工艺管数量：1-4管 | 工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸） | 工作温度范围：400～1280℃ |
| 气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s |
RTP管式退火炉、真空合金炉用于***材料需要在高真空、快速升降温、等条件下进行工艺的非标定制设备，可根据客户不同需求定制。
主要技术参数
◆工艺管数量：1管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型
◆工作温度范围：200～1100℃
◆恒温区长度及精度：±1℃/600mm
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆真空度： 3×10-4Pa
◆升温速度： 60度/min
◆降温速度： 60度/min
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
