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管式扩散氧化退火炉--DOA320炉--低压扩散炉厂家--晨立专业定制
产品标签 | 管式炉 扩散炉 氧化炉 DOA320炉 热处理炉
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≥3
主要技术参数
◆结构型式:卧式热壁型
◆工作温度范围:300~1280℃
◆恒温区长度及精度:±0.5℃/1080mm
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆控制方式: 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
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