| 产品特性：氧化退火 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：CL | 用途：扩散、氧化、退火、合金及烧结 | 规格：卧式或立式 |
| 工艺管数量：1-4管 | 工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸） | 工作温度范围：400～1280℃ |
| 工艺均匀性：≤±5％ |
主要技术参数
◆工艺管数量：可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆结构型式：卧式或立式
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度：±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
震动：≤3μm
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
我公司拥有十几年的专业研发制造经验，科研炉可广泛用于高等院校、科研所，可根据客户需求进行定制。
