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扩散炉系统改造 LPCVD系统翻新改造 晨立电子cl

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    品牌：晨立是否支持加工定制：是是否进口：否
    工作温度：200～1300℃装片数量：100-300实用硅片尺寸：4-6英寸
    炉体恒温区：300～1000mm气源系统：进口配件恒温区精度：>800℃/±0.5℃ ，<800℃/±1℃
    单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h氧化工艺：片内≤±2%，片间≤±3%，批间≤±3%控制系统：工业控制计算机
    降温速度：5℃/min(900～1300℃)

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