产品特性:扩散,氧化 | 是否进口:否 | 产地:青岛 |
品牌:CL | 型号:根据客户需求定制 | 化学类型:单晶硅太阳电池 |
输出功率:220W | 工作电压:140V | 结构类型:炉管 |
使用状态:cl | 转化效率:100% | 填充因子:100% |
工作电流:60A | 并联电阻:60欧姆 | 串联电阻:60欧姆 |
开路电压:60V | 短路电流:60A | 外形尺寸:定制 |
参考重量:2kg |
设备用途:用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标:
炉管数:1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制: 浮子/质量流量计
悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg
超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm