产品特性:氧化扩散 | 加工定制:是 | 品牌:晨立 |
型号:CL4513 | 用途:氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量:1-4管 |
工艺管口径:Φ90~360 mm | 单点稳定性:±1.0℃/24h | 恒温区长度:760~1000 mm±1.0℃ |
气源路数:≤7路 |
高温扩散炉
该设备具有:关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定、寿命长等特点,是理想的科研及生产设备。
主要技术指标:
炉管数:1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg
气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制: 浮子/质量流量计
超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm
报警及保护:超温、断偶、缺水及真空异常系统自动报警及保护
控制系统:整机控制系统采用工业控制计算机(WINDOWS 系统,中文操作界面,方便简洁)