实验室科研单位加热炉高温退火实验室专用热处理炉晨立专业定制

实验室科研炉是实验室科研中的典型热处理设备，用于氧化镓，氮化镓退火专业定制。

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所在地区：山东青岛
主营产品：扩散炉,退火炉,隧道式烧结炉,真空焊接炉

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产品特性：氧化退火	加工定制：是	品牌：晨立
型号：CL	用途：退火，氧化	规格：卧式
工艺管数量：1-4管	工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）	工作温度范围：400～1280℃

主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式：工业微机控制

产品描述：

◆高性能进口元器件
组合关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而***成膜质量。
◆高精度温度控制
新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，***工艺过程中温度的快速稳定。
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置，避免了SiC桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性。同时桨的清洗周期大幅度延长。