| 产品特性：翻新改造 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：cl | 用途：控制系统升级改造 | 工作温度：200～1300℃ |
| 实用硅片尺寸：4-6英寸 | 装片数量：100-300 | 炉体恒温区：300～1000mm |
| 气源系统：进口配件 |
扩散炉翻新改造/控制系统升级改造详细介绍
扩散炉翻新技术指标
1工作温度：200～1300℃
2适用硅片尺寸：4～6英寸
3装片数量：正片100～300片/管
4炉体恒温区：300～1000mm
5恒温区精度：>800℃/±0.5℃ ，<800℃/±1℃
6单点温度稳定性：600～1300℃/ ±0.5℃/24h
7可控升温速度：15℃/min
8降温速度：5℃/min(900～1300℃)
9气源系统：进口配件、自动轨道焊接
10控制系统：整机控制系统采用工业控制计算机(WINDOWS 系统，中文操作界面，方便简洁)
11 氧化工艺：片内≤±2%，片间≤±3%，批间≤±3%，
P预扩：方块电阻 6~20，片内片间≤±2.5%，片间≤±4%
