| 产品特性：氧化扩散 | 加工定制：是 | 品牌：晨立 |
| 型号：CL4513 | 用途：氧化、扩散、烧结、合金 | 工艺管数量：1-4管 |
| 工艺管口径：Φ90～360 mm | 气源路数：≤7路 | 单点稳定性：±1.0℃/24h |
| 恒温区长度：760～1000 mm±1.0℃ |
主要技术指标：
炉管数：1～4管
配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃)
气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
气体控制： 浮子/质量流量计
悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min
行程：2000 mm
定位精度：±1 mm
载荷：17 Kg
超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房）
噪音： ≤62dB（A）
振动： ≤3μm
晨立扩散炉设备,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格产品满足不同工艺的要求。
